Technesch Beroder vun RSM wäert mat Iech d'Virdeeler vun zylindresch a planar magnetron sputtering Ziler deelen?Am Verglach mat anere Magnetron-Sputterziler behalen zylindresch a planar Magnetron-Sputterziler d'Virdeeler vun enger gudder Beschichtungsuniformitéit vu véiereckege planar Ziler, a kënnen d'Notzung vun Ziler duerch déi folgend zwou Weeër maximéieren:
(1) Wann déi zwou Gruppen (véier) vun annular Gruef op der Uewerfläch vum Zil eng gewëssen Tiefe erreechen, kann den Zilkär (Magnéitdeel) 45 ° relativ zum Zilröhre rotéiert ginn, sou datt aner Gebidder op der Zilröhre déi net korrodéiert goufen, kënne benotzt ginn;
(2) Wann d'Zilkär vum zylindresche a flächende Magnetron-Sputterziel als rotativen Zilkär entworf ass (den Zilkär rotéiert während der Sputtering), kann d'Uewerfläch vum Zil gleichméisseg Schicht fir Schicht ouni Gruef gesputtert ginn.Zu dëser Zäit gëtt d'Zil am effektivsten benotzt, an d'Notzungsquote vum Zil kann 50% ~ 60% erreechen Wann d'Zilmaterial Edelmetall ass, ass dëst offensichtlech vu grousser Bedeitung.
Andeems de Prinzip vum Magnéit mat Pole Schong am koaxialen zylindresche Magnetron Sputtering Zil benotzt fir de Problem vum Enn Magnéitfeld ze léisen, kann de véiereckege Fligerziel an eng zylindresch a planar Magnetron Sputtering Zil transforméiert ginn, D'Zil kann d'Notzungsquote vum Zil maximéieren wärend déi gutt Beschichtungsuniformitéit vum véiereckege Fligerziel hält, fir d'wirtschaftlech Virdeeler ze verbesseren.
Post Zäit: Jul-04-2022