Wéi mir all wëssen, ginn et vill Spezifikatioune vu Sputterziler, an hir Uwendungsfelder sinn och ganz breet.D'Zorte vun Ziler déi allgemeng a verschiddene Felder benotzt ginn sinn och ënnerschiddlech.Haut, loosst eis iwwer d'Klassifikatioun vun sputterende Zil-Applikatiounsfelder mam Redakter vun RSM léieren!
1, Definitioun vu Sputterziel
Sputtering ass eng vun den Haapttechnologien fir dënn Filmmaterialien ze preparéieren.Et benotzt d'Ionen, déi vun der Ionequell produzéiert ginn, fir ze beschleunegen an am Vakuum ze sammelen fir en Héichgeschwindeg Ionestrahl ze bilden, déi zolidd Uewerfläch bombardéieren, an d'Ionen austauschen kinetesch Energie mat den Atomer op der fester Uewerfläch, sou datt d'Atomer op der fester Uewerfläch. Uewerfläch gëtt vum Feststoff getrennt an op der Substratoberfläche deposéiert.De bombardéierte Feststoff ass de Rohmaterial fir den dënnen Film ze preparéieren deen duerch Sputtering deposéiert gëtt, wat Sputterziel genannt gëtt.
2、 Klassifikatioun vun sputtering Zil- Applikatioun Felder
1. Semiconductor Zil
(1) Gemeinsam Ziler: gemeinsam Ziler an dësem Beräich enthalen héich Schmelzpunkt Metaller wéi Tantal / Kupfer / Titan / Al / Gold / Néckel.
(2) Benotzung: haaptsächlech als Schlëssel Rohmaterial fir integréiert Circuiten benotzt.
(3) Leeschtung Ufuerderunge: héich technesch Ufuerderunge fir Rengheet, Gréisst, Integratioun, etc.
2. Zil fir flaach Panel Display
(1) Gemeinsam Ziler: gemeinsam Ziler an dësem Beräich enthalen Al / Kupfer / Molybdän / Néckel / Niobium / Silizium / Chrom, etc.
(2) Notzung: Dës Zort vun Zil gëtt meeschtens fir verschidden Aarte vu grousser Fläch Filmer wéi Fernseher an Notizbicher benotzt.
(3) Leeschtung Ufuerderunge: héich Ufuerderunge fir Rengheet, grouss Beräich, Uniformitéit, etc.
3. Zilmaterial fir Solarzelle
(1) Gemeinsam Ziler: Aluminium / Kupfer / Molybdän / Chrom /ITO / Ta an aner Ziler fir Solarzellen.
(2) Benotzung: haaptsächlech an "Fënsterschicht", Barrièreschicht, Elektroden a Konduktivfilm benotzt.
(3) Leeschtung Ufuerderunge: héich technesch Ufuerderunge a breet Applikatioun Gamme.
4. Zil fir Informatiounen Stockage
(1) Gemeinsam Ziler: gemeinsam Ziler vun Kobalt / Néckel / Ferroalloy / Chrom / Tellur / Selen an aner Material fir Informatiounen Stockage.
(2) Notzung: Dës Zort Zilmaterial gëtt haaptsächlech fir de magnetesche Kapp, d'Mëttschicht an d'Ënnerschicht vum opteschen Drive an opteschen Disc benotzt.
(3) Leeschtung Ufuerderunge: héich Stockage Dicht an héich Transmissioun Vitesse sinn néideg.
5. Zil fir Outil Ännerung
(1) Gemeinsam Ziler: gemeinsam Ziler wéi Titan / Zirkonium / Chrom Aluminiumlegierung geännert duerch Tools.
(2) Benotzung: normalerweis fir Uewerflächestäerkung benotzt.
(3) Leeschtung Ufuerderunge: héich Leeschtung Ufuerderunge a laang Service Liewen.
6. Ziler fir elektronesch Apparater
(1) Gemeinsam Ziler: gemeinsame Aluminiumlegierung / Silizidziler fir elektronesch Geräter
(2) Zweck: allgemeng fir dënn Filmresistenz a Kondensatoren benotzt.
(3) Leeschtung Ufuerderunge: kleng Gréisst, Stabilitéit, niddereg Resistenz Temperatur Koeffizient
Post Zäit: Jul-27-2022