Vill Frënn iwwer den Ënnerhalt vun der Zil- ginn et méi oder manner Froen, kuerzem ginn et och vill Clienten Consultatioun iwwer den Ënnerhalt vun der Zil- Zesummenhang Problemer, loosse Redakter vun RSM fir eis iwwer Sputtering Zil Ënnerhalt Wëssen ze deelen.
Wéi solle Sputterziler erhale bleiwen?
1, Zil Ënnerhalt
Fir Kuerzschluss an Arcing verursaacht duerch onreine Kavitéit am Sputterprozess ze vermeiden, ass et néideg, periodesch d'Sputteren, déi an der Mëtt an op béide Säiten vun der Sputterbunn accumuléiert sinn, ze läschen, wat och d'Benotzer hëlleft fir kontinuéierlech mat héijer Kraaftdicht ze sputteren.
2, Zillagerung
Mir recommandéieren datt d'Benotzer d'Zil (egal ob Metall oder Keramik) an Vakuumverpackungen späicheren, virun allem de passenden Zil muss am Vakuum gespäichert ginn fir ze verhënneren datt d'Oxidatioun vun der Passende Schicht d'Fittingqualitéit beaflosst.Wat d'Verpakung vu Metallziler ugeet, proposéiere mir datt se op d'mannst a propperem Plastikstute gepackt ginn.
3, Ziel Botzen
Den éischte Schrëtt ass fir mat engem flauschege mëllen Tuch ze botzen, deen an Aceton getippt ass;
Den zweete Schrëtt ass ähnlech wéi den éischte Schrëtt, d'Botzen mat Alkohol;
Schrëtt 3: propper mat deioniséiertem Waasser.No Botzen mat deioniséiertem Waasser gëtt d'Ziel an den Ofen plazéiert a bei 100 ℃ fir 30 Minutten getrocknt.Et gëtt ugeschloss fir "fënsterfräi Stoff" ze benotzen fir Oxid- a Keramikziler ze botzen.
De véierte Schrëtt ass d'Zil mat Argon mat héijen Drock a gerénger Fiichtegkeet ze wäschen fir all onrein Partikel ze entfernen, déi de Bogen am Sputtersystem verursaachen.
4、 Kuerzschluss a Dichtkontrolle
Nodeems d'Zil installéiert ass, muss d'ganz Kathode fir Kuerzschluss a Dicht gepréift ginn.Et ass recommandéiert ze beurteelen ob et e Kuerzschluss an der Kathode gëtt mat engem Resistenzmeter an engem Megger.Nodeems Dir bestätegt datt et keng Kuerzschluss an der Kathode ass, kann d'Waasserleckungsinspektioun duerchgefouert ginn, a Waasser kann an d'Kathode agefouert ginn fir ze bestëmmen ob et Waasserleck ass.
5、 Verpakung an Transport
All Ziler sinn a Vakuum zouene Plastikstuten mat Feuchtigkeitbeständeg Agent verpackt.De baussenzege Package ass allgemeng hëlze Këscht mat Anti-Kollisiounsschicht ronderëm fir d'Zil an d'Backplane vu Schued beim Transport a Lagerung ze schützen.
Post Zäit: Jul-15-2022