D'Zilmaterial, dat an der Datespeicherindustrie benotzt gëtt, erfuerdert héich Rengheet, an Gëftstoffer a Pore musse miniméiert ginn fir d'Generatioun vu Gëftstoffpartikelen beim Sputteren ze vermeiden.D'Zilmaterial, dat fir qualitativ héichwäerteg Produkter benotzt gëtt, erfuerdert datt seng Kristallpartikelgréisst kleng an eenheetlech muss sinn a keng Kristallorientéierung hunn.Drënner, loosst eis d'Ufuerderunge vun der optescher Späicherindustrie fir d'Zilmaterial kucken?
1. Rengheet
A prakteschen Uwendungen variéiert d'Rengheet vun Zilmaterialien jee no verschiddenen Industrien an Ufuerderungen.Wéi och ëmmer, wat méi héich d'Rengheet vum Zilmaterial ass, wat besser d'Leeschtung vum gesputterte Film ass.Zum Beispill, an der optescher Späicherindustrie ass d'Rengheet vum Zilmaterial erfuerderlech méi wéi 3N5 oder 4N ze sinn
2. Gëftstoffer Inhalt
D'Zilmaterial déngt als Kathodequell beim Sputteren, a Gëftstoffer am Feststoff a Sauerstoff a Waasserdamp an de Poren sinn d'Haaptverschmotzungsquellen fir dënn Filmer ze deposéieren.Zousätzlech ginn et speziell Ufuerderunge fir Ziler vu verschiddene Gebrauch.Wann Dir d'optesch Späicherindustrie als Beispill hëlt, muss de Gëftstoffgehalt an Sputterziler ganz niddereg kontrolléiert ginn fir d'Qualitéit vun der Beschichtung ze garantéieren.
3. Grain Gréisst a Gréisst Verdeelung
Normalerweis huet d'Zielmaterial eng polykristallin Struktur, mat Kärgréissten, déi vu Mikrometer bis Millimeter variéieren.Fir Ziler mat der selwechter Zesummesetzung ass d'Sputterrate vu Feinkornziler méi séier wéi dee vu Grofkornziler.Fir Ziler mat méi klengen Kärgréisst Differenzen wäert d'deposéiert Filmdicke och méi eenheetlech sinn.
4. Kompaktheet
Fir d'Porositéit am zolidd Zilmaterial ze reduzéieren an d'Filmleistung ze verbesseren, ass et allgemeng erfuerderlech datt d'Sputterende Zilmaterial eng héich Dicht huet.D'Dicht vum Zilmaterial hänkt haaptsächlech vum Virbereedungsprozess of.D'Zilmaterial, dat duerch Schmelz- a Gossmethod hiergestallt gëtt, kann suergen datt et keng Poren am Zilmaterial sinn an d'Dicht ass ganz héich.
Post Zäit: Jul-18-2023